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日本京都--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--SCREEN Holdings Group (TOKYO:7735)旗下子公司SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.(SCREEN SPE,總裁:Masato Goto)已完成SS-3300S洗滌塔型1單晶圓清洗系統的開發。SS-3300S可在每小時高達1,000片晶圓2的處理速度下提供高度穩定的性能,從而使其能夠提供業界領先的生產力。該系統將於12月開始銷售。


近年來,在遠距工作、線上學習和影音串流等活動所需的資料流量持續增長的帶動下,資料中心市場已顯著擴大。同時,主要用於車載和工業應用的5G智慧型手機和物聯網(IoT)基礎架構的快速普及,促使對這些及其他尖端市場所需的精密半導體的需求不斷成長。

為因應此一需求,半導體製造商已不斷改進用於先進邏輯和記憶體IC的電路的小型化和整合度,從而造成對在半導體製造過程中去除微粒子的需求更甚。更具體地說,這使得對高處理量洗滌塔型單晶圓清洗系統的需求日益成長,這些系統可提供更高水準的清洗性能以及更穩定的處理能力。

基於這些趨勢,SCREEN SPE開發出SS-3300S,這是一款洗滌塔型單晶圓清洗系統,具有業界領先的生產力。SS-3300S延續了廣受讚譽的處理可靠性,這種可靠性已經使SS-3200成為該領域產業事實上的標準,目前已在全球出貨超過500套系統。為SS-3200開發的處理條件,SS-3300S也可以繼續使用完全相同的條件,從而確保順利引進新系統。

作為業界首創3的洗滌塔型系統,SS-3300S配有可安裝多達16個腔室的新平臺。此外,新的雙傳送系統大幅提高了系統占地面積產量,幫助SS-3300S達到業界最高水準的實際處理能力,最高可達1,000 wph(比傳統型號提高了25%)。同樣,重新設計的控制系統使得SS-3300S可以用於物聯網(IoT)和系統間連接,符合目前向智慧工廠轉型的要求。

1. 使用軟刷和純淨水對晶圓進行物理清洗的方法。
2. 以相同的流量配方在連續運行期間達到最高處理量。
3. 根據SCREEN內部研究。

免責聲明:本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用,煩請參照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。


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SCREEN Holdings Co., Ltd.
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秘書和公關部
Maki Yamamoto, Atsushi Kurosaki, +81-75-414-7131
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