Entegris把RSP和極紫外光(EUV)技術授權給家登精密工業股份有限公司│科技生活

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授權合約解決了雙方之間與光罩盒技術相關的爭議

麻薩諸塞州比爾里卡--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--為半導體和其他高科技產業提供先進材料和製程解決方案的世界級供應商Entegris, Inc. (NASDAQ: ENTG)今天宣佈，它已同意與家登精密工業股份有限公司(Gudeng Precision Ltd.)就雙方關於傳統和EUV微影的光罩盒技術專利訴訟和糾紛達成和解。雙方達成的授權合約（條款保密）解決了兩家公司之間懸而未決的法律訴訟，包括家登對於賠償Entegris近十億元新臺幣的判決提出的上訴。

Entegris執行長Bertrand Loy表示：「我們對這些智慧財產權案件的結案感到高興。在我們繼續與業界領導者合作，推動EUV微影技術向前發展的過程中，這些協定符合我們客戶的最大利益。」

隨著半導體器件逐漸在原子級尺寸進行工程設計，以促成新的器件架構和新的圖案化方案，業界開發出極紫外光(EUV)微影技術，以成功縮小最先進器件的複雜圖案。EUV微影圖案存放在反射玻璃光罩上，這些光罩價值極高，而且極易因為處理不當而受到污染和損壞。Entegris的EUV光罩盒可在光罩的整個生命週期內保護其免於破壞性微塵、潮濕和破裂造成的損害。

營運長Todd Edlund表示，Entegris已確立了在半導體產業的領導地位，可為擁有最先進科技的一流製造商提供高度創新的解決方案。他表示：「透過持續的研發投資，我們開發了可以協助客戶製造全世界最先進器件的關鍵技術。我們將在必要時繼續捍衛我們的智慧財產權，以確保客戶能夠使用我們業界領先的產品和科技。」

關於Entegris

Entegris是為半導體及其他高科技產業提供先進材料和製程解決方案的世界一流供應商。Entegris在全球擁有約5300名員工，並已通過ISO 9001認證。公司在美國、加拿大、中國大陸、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、韓國和臺灣設有製造工廠、客戶服務中心和/或研究基地。更多資訊請造訪www.entegris.com。

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