日本電子株式會社推出新型肖特基場發射掃描電子顯微鏡JSM-IT800(i)/(is)版本│科技生活

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- 採用智慧技術(IT)平臺的FE-SEM -

東京--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--日本電子株式會社(JEOL Ltd., TOKYO:6951)（總裁兼營運長：Izumi Oi）宣布已開發出半浸沒式(semi-in-lens)版本(i)/(is)，這兩個版本非常適合觀察肖特基場發射電子顯微鏡JSM-IT800（2020年5月推出）半導體元件，已於2021年8月開始發售。

開發背景

掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛用於奈米技術、金屬、半導體、陶瓷、醫學和生物學等各種領域。SEM的應用範圍正在不斷擴大，不僅涵蓋了研究和開發，而且還涉及製造現場的品質控制和產品檢驗。與此同時，SEM使用者正需要快速的高品質資料擷取，以及簡單的成分資訊確認和順暢分析操作。

為了滿足這些需求， JSM-IT800整合了我們用於高解析度成像的浸沒式(In-lens)肖特基Plus場發射電子槍、創新型電子光學控制系統Neo Engine，以及無縫式GUI SEM Center系統，該系統採用完全嵌入式JEOL能量色散型X射線光譜儀(EDS)作為通用平臺，以進行快速元素映射。此外，JSM-IT800可以作為模組替代SEM的物鏡，並擁有不同版本以滿足不同用戶的需求。

根據物鏡類型的不同，JSM-IT800分為五種版本：屬於通用型FE-SEM的混合透鏡版(HL)；可進行更高解析度觀察和分析的超級混合透鏡版（SHL/SHLs，兩個版本功能不同）；新開發的適用於觀察半導體元件的半浸沒透鏡版（i/is，兩個版本功能不同）。

JSM-IT800還可以搭載新的閃爍體背向散射電子探測器(SBED)。SBED能夠以高回應性輕鬆觀察即時影像，即使在低加速電壓下也能產生清晰的材料對比度。

特性

1. 浸沒式肖特基Plus場發射電子槍

電子槍與低像差聚光透鏡的進一步整合帶來更高的亮度。低加速電壓下具有足夠的探頭電流（5kV時為100nA）。獨特的浸沒式肖特基Plus系統適用於各種應用，從高解析度成像到快速元素映射，以及電子背向散射衍射(EBSD)分析。

2. Neo Engine（新型電子光學引擎）

Neo Engine是一種先進的電子光學系統，採用JEOL多年累積的核心技術。即使改變不同的觀察或分析條件，用戶也能進行穩定的觀察。自動功能的高度可操作性大幅增強。

3. SEM Center/EDS整合

GUI SEM Center全面整合SEM成像和EDS分析功能，方便用戶進行直覺的順暢操作。JSM-IT800可以透過加入選購的軟體外掛程式來增強功能，例如能夠協助新用戶並為其提供學習途徑的SMILENAVI，以及可以獲得更高品質即時影像的LIVE-AI（即時影像視覺增強器-AI）篩檢器。

4. 半浸沒版本(i/is)

半浸沒式可將電子束與物鏡下方形成的強磁場透鏡彙聚起來，實現超高解析度。此外，該系統能夠高效收集樣本發射的低能量二次電子，並透過頂部的浸沒式探測器(UID)檢測電子。因此，它可以對傾斜樣本和橫截面樣本進行半導體元件故障分析所需的高解析度觀察和分析。此外，其對於電壓對比度觀察功能也非常實用。

5. 頂部電子探測器(UED)